组长李清平,一夜未眠。
他呆呆地看着实验台上那几瓶浑浊的样品,这是由团队连夜赶制出来的替代品。
此时他的眼球里布满了血丝。
失败了。
又一次失败了。
没有高纯度的稀土抛光液,他们连最基础的晶圆平坦化处理都无法完成。
这就意味着整个项目,从根上就已经死了。
就在他心灰意冷,准备向林远递交一份报告时,他的手机突然响了起来。
是一个陌生的加密号码。
“是李清平教授吗?”电话那头,是一个声音经过电子处理,听不出男女的机械音。
“我是。”李清平皱了皱眉。
“请派人到你们园区三号门,接收一批实验耗材。交接码是:Alpha-73。”
说完,电话便被干脆地挂断了。
李清平一头雾水。
实验耗材?谁送来的?
他怀着满腹的疑惑,派了两个最信任的学生去了三号门。
半小时后,两个学生用一辆密封的防震推车,运回来一个半人高的银色低温冷藏箱。
箱体上没有任何标识,只有一个电子密码锁。
“老师,送货的人什么也没说,就让我们输入交接码,然后就开车走了。”学生汇报道,“那车也是一辆没有任何牌照的黑色全封闭货车。”
李清平的心中,涌起一股强烈的不安与好奇。
他走上前,颤抖着输入了“Alpha-73”。
“咔哒”一声,密码锁应声而开。
一股白色的冷气,从箱体内部喷涌而出。
待冷气散去,只见箱体内部,整齐地码放着十二支由特种石英玻璃封装的深蓝色液体。
每一支试管的标签上,都用德语标注着一行极其专业的化学分子式,以及一个让他心脏几乎要停止跳动的关键数据。
纯度:99.9999%!
“这……这不可能!”
李清平发出一声惊呼,他一把推开学生,戴上防静电手套,小心翼翼地取出其中一支。
那幽蓝色的液体,在无尘实验室的光线下,散发着一种梦幻般的光泽。
这……这是德国默克集团实验室级别的产品。
是他们之前托了无数关系,都无法买到哪怕一毫升的“禁运品”!
“快!快拿去检测!”李清平的声音都在颤抖。
十分钟后,检测结果出来了。
光谱分析仪上显示的数据,与标签上的标注分毫不差。
甚至在某些微量元素的控制上,比默克集团官方公布的数据还要优秀。
整个实验室,瞬间陷入了一片死寂。
所有人都像看怪物一样,看着那十二支蓝色的液体。
李清平第一个反应了过来,他像疯了一样冲出实验室,拨通了林远的电话,声音激动得语无伦次:
“主任!林主任!神了!真的神了!”
第五天,下午。
光刻设备与精密光学实验室。
王海冰,这位性格火爆的技术狂人,正领着一群工程师对着一堆拆解开的国产镜头唉声叹气。
没有了德国蔡司的高精度物镜,他们就像一支没有了狙击枪的神枪手,空有一身本领却连敌人的影子都摸不到。
就在这时,一辆挂着“沪A”牌照的、隶属于“dhL国际优先速递”的特种气垫运输车,缓缓停在了实验室的专用卸货平台。
一名穿着全套防尘服的德国籍工程师,手持一份文件找到了王海冰。
“请问是王海冰先生吗?”德国工程师的中文,带着一丝生硬的口音,“这里有一份由‘荷兰ASmL总部’直接委托我们转运的紧急技术样品,需要您亲自签收。”
ASmL?
王海冰和在场的所有人都懵了。
那不是全球光刻机领域的绝对霸主吗?他们怎么会……
王海冰将信将疑地打开了那个被层层密封的特种运输箱。
当箱子打开的那一刻,整个实验室所有人都停止了呼吸。
只见箱体内部的红色天鹅绒衬垫上,静静地躺着三颗大小不一,却同样精密得如同艺术品的……高数值孔径(high-NA)EUV光刻物镜组!
这……这是ASmL最尖端,也是严格限制出口的下一代产品。
别说是买,就是连相关的技术资料在都属于绝密。
“这……这是给我们的?”王海冰的声音,艰涩得如同砂纸在摩擦。
“是的。”德国工程师递上了一份全英文的技术规格书和一份“技术交流豁免许可”的复印件,面无表情地说道,“根据委托方要求,我们只负责安全送达。后续的技术支持,会有专门的团队与您联系。”
说完,德国工程师便转身离去。