通城，智云微电子总部，徐申学看了第二厂，视察了当地的十二纳米产线后，又去看了已经完成了厂房施工的第二十五厂。第二十五厂，也是智云微电子为等效七纳米工艺所准备的工厂，从厂房再到设备，全部都是按照等效七纳米工艺所准备的，整体投资预计会超过八十亿美元，相当夸张。“我们准备在第二十五厂里，同时建设两条产线，一条产线采用进口的ASmL公司的NXT1980光刻机，第二产线则是采用海湾科技的HdUV-600光刻机！”“两种光刻机的套刻精度都是二点五纳米，按照我们的设计方案，都是能够满足等效七纳米工艺的技术需求！”“为了确保等效7纳米工艺准时准点的完成技术认证，我们在第一产线上全部使用进口设备，目前所有设备都已经下单，部分已经到货，第一台NXT1980光刻机将会在十天后到货，所有设备将会在今年十二月份前全部到货，明年第一季度就能够完成设备的安装和调试，并展开技术认证工作。”“乐观的话，明年第三季度就能完成技术认证，开始为量产化进行准备，但是考虑到四重曝光带来的低良率问题，我们想要解决这个低良率问题预计也需要大量的时间。”“想要大规模出货的话，恐怕还要到后年的第一季度。”“而我们的主要竞争对手台积电，按照他们公布的计划来看，他们的进度表和我们的也类似，毕竟我们是采用同一批的光刻机进行等效七纳米工艺产线的搭建，而光刻机的到货时间我们也差不多，硬件设备处于同一时间段，具体时间表也类似。”“至于后续谁能够做到领先，这还需要看彼此工艺技术上的比拼，而这一领域上我们是有优势。”“而四星那边也公布了八纳米工艺计划，但是根据目前的情报来看，他们的八纳米工艺在技术指标上看起来应该是十纳米工艺节点改进，性能提升不会很大，属于十纳米和七纳米工艺之间的过渡节点，类似他们的十一纳米以及我们的十二纳米工艺。”“而我们则是直接跳过了八纳米工艺，直接搞七纳米工艺。”“他们的七纳米工艺还要更往后一些。”“至于英特尔的话，他们并没有公布等效七纳米工艺，而是正在推进十纳米工艺的节点，不过他们的这个十纳米工艺节点在技术参数上，其实比我们的等效七纳米工艺还要更高一些。”“然而技术参数更高，也意味着更难，按照我们的预估，他们估计要更晚时间才能搞出来。”“按照目前收集的一些情报来推算他们的工艺节点研发，短期内我们在七纳米工艺上的主要竞争对手，还是台积电；英特尔的十纳米和四星的七纳米，会比我们晚不少！”“在等效七纳米节点的竞争中，我们将会维持领先优势！”丁成军对等效七纳米工艺的时间表，表现出来了极大的自信，这是基于梁松教授为核心的工艺研发团队来带的自信。“我们已经完成了四重曝光的基本理论以及工艺流程，就等着用这一批光刻机进行下一步阶段的各项测试工作了。”“等第一台NXT1980光刻机到货后，我们就会使用这台光刻机进行前期的技术测试，验证工作。”——————丁成军此时，又指着第二十五厂的另外一个庞大厂房道：“这是我们第二十五厂的第二产线，基于扶持国产设备的缘故，我们的第二产线上将会尽可能采用国产设备，哪怕为此付出一些生产成本的上涨！”“第二产线上，核心设备包括海湾科技正在研发的HdUV-600型光刻机，此外还包括辅助使用的HdUV-500型号光刻机以及HKRF-34光刻机等，同时也包括后道光刻机，蚀刻机以及离子注入机等核心设备，只要海湾科技有的，技术指标能够达到要求的，我们都会使用！”“该产线的进度表也和第一产线类似，虽然核心的HdUV-600光刻机到货会晚一些，不过问题不大，应该也能够在后年的第二季度完成量产化。”“只不过该产线的生产效率要低一些，成本也会更高一些！”“生产效率上，还需要海湾科技继续努力了！”徐申学一边听着，一边看着手中的技术报告。两条等效七纳米工艺的产线，一条是清一色进口，而另外一条则是国产和进口设备混搭。其他的都还好，但是在光刻机领域还是可以看到明显的差距。这个时候，跟着徐申学一起过来考察的海湾科技的CEo王道林道：“我们的HdUV-600型光刻机和ASmL的NXT1980光刻机在核心的三大硬性指标上都是一样的。”“分辨率都是38纳米，数值孔径一点三五，套刻精度都是二点五纳米。”“这三大核心指标也是做等效七纳米工艺的硬性指标，少一个都不行。”“不过除了这三个核心指标外，还有一个指标上我们的HUdV-600光刻机就存在一些差距了，那就是wPH，即每小时处理晶圆片的数量。”“这个数据越大，光刻机单位时间内的产量就越大，产量越大，生产效率越高！”“作为对比，ASmL的NXT1980光刻机，其wPH是二百七十五片。”“我们的HdUV-600光刻机的wPH，设计指标差一些，只有两百四十五片。”徐申学听罢：“这差距不小啊，回头落到生产过程里，那么就会导致生产成本的上涨！”王道林道：“是有一些差距，不过这也是没办法的事，我们时间太紧迫了！”“ASmL的NXT1980光刻机，
本章未完，请点击下一页继续阅读》》